웨이퍼 운반 로봇
웨이퍼 전송 장치에서 가장 일반적인 장치는 기계 전송 암으로 이 기계 구조는 전송 챔버와 처리 챔버 사이에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 캐치 및 배치할 수 있습니다. 기존의 기계적 전동방식과 비교해볼 때 웨이퍼 기계 전송 암에서 고조파 전동 기술은 작동 중 소프트 휠의 지속적인 변형을 사용하여 더 큰 전동 비율 변화를 달성할 수 있지만, 이 특성은 큰 회전 관성으로 인해 시동 토크도 커지고 추가 에너지 손실 및 열 손실이 자주 발생하며 동시에 로봇 암 말
방안 우위
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기술
반도체 설비 응용 작업 현장 조건의 기술 지표를 만족시킵니다.
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원가 절감
기술지표 충족 동시에 일본계 브랜드 대비 30%의 원가를 절감할 수 있습니다.
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납기
원가 절감 동시에 납기가 빠릅니다.
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서비스
빠르고 효율적인 서비스 대응은 성 내 24시간, 성 외 48시간입니다.
응용 솔루션
웨이퍼 운반 로봇
고조파 전동의 부족에 대응하여 한드라이브 스마트 직접구동 모션 제어 전문가는 자체 개발한 DDR 모터 QR120-064 및 QR118-110을 각각 두 개의 로봇 암과 로봇의 전체 회전에 사용했습니다. 두 개의 모터는 단일 코일 절대치 인코더를 채택하여 전원을 켠 후 0으로 되돌릴 필요가 없으며 두 개의 로봇 암 간섭을 피하고 경제, 고효율, 고속, 저소음, 정밀, 에너지 절약 등의 특성으로 고조파 구조를 성공적으로 대체하여 고객이 생산 효율성과 완제품
대표 기종 (DD모터)
한드라이브 스마트 DDR 모터 적용성
경제, 고효율, 고속, 저소음, 정밀, 에너지 절약
한드라이브 스마트 DDR 모터는 한드라이브 스마트 직접구동 모션 제어 솔루션을 채택하여 웨이퍼 운반 로봇을 최적화하는 데 적합하며 장비 포크 픽업 웨이퍼 로봇 암 말단의 정확도는 ±0.05mm 이내이며 회전 반경이 작아 웨이퍼 위치를 정확하게 감지하여 운반 작업을 수행하면서 공간 활용도를 크게 높일 수 있습니다. 기어 감속기의 중간 전동 구조가 없기 때문에 DDR 모터의 사용은 고조파 전동 구조를 사용하여 발생하는 큰 진동과 기계적 소음을 완전히 줄이고
