晶圆搬运机器人
晶圆传送装置里，最常见的装置为机械传送臂，此机械结构能快速准确地将晶圆在传送室和处理室之间完成抓取和放置。 对比传统的机械传动方式，谐波传动技术在晶圆机械传送臂中，利用柔轮在工作中不断变形的特点，可以实现更大范围的传动比变化，但这种特点由于转动惯量大，导致启动的力矩也变大，经常产生额外的能量损耗和热损失，同时机械臂末端的精度也容易受到影响。 对晶圆搬运机器人来说，机械臂的末端精度将决定其精准的操控能力，确保晶圆在搬运过程不受损伤和污染，避免碰撞和倾倒，因此机械臂的末端精度极为重要。
方案优势
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技术
无需其他传动结构，安装简单，维护方便，且拥有高机械精度和高定位精度的特性
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降本
满足技术指标的同时，较于日系 品牌客户可节省成本30%+
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货期
降本的同时货期更快
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服务
快速高效响应服务 省内24小时，省外48小时
应用方案
晶圆搬运机器人
针对谐波传动的不足，汉驱智能直驱运动控制专家将自主研发的DDR马达QR120-064和QR118-110，分别用于两个机械臂和机器人整体的旋转上，两款电机采用单圈绝对值编码器，上电后无需回零，避免两个机械臂干涉，凭借经济、高效、高速、静音、精准、节能等特性，成功替换谐波结构，帮助客户在生产效率、成品质量上实现质的有效提升。
汉驱智能DDR马达适用性
经济、高效、高速、静音、精准、节能
通过采用汉驱智能直驱运动控制解决方案对晶圆搬运机器人的优化，设备叉取晶圆片机械臂末端的精度可达±0.05mm内，且回转半径小，在精准感知晶圆位置进行搬运操作的同时，能大幅提升空间使用率。 由于没有齿轮减速机的中间传动结构，DDR马达的使用完美地减少了使用谐波传动结构所产生大振动和机械噪音，电机具有更强地起步能力地同时，能量损失也能减少，从而提高生产效率。 另外，汉驱智能产出的 DDR马达凭借国产自主可控技术，能够保持绝对的成本价优势，解决了目前国内谐波传动结构仍需依赖高价进口的问题。
